英特尔更新有关High-NA光刻应用信息：于18A节点进行开发研究，将在未来节点投入生产
来源： Anandtech原英文标题： Intel High-NA Lithography Update: Dev Work On Intel 18A, Production On Future Node
作为英特尔在今年 "英特尔创新2023 "大会上发布的一系列硬件产品的一部分，英特尔公司简要介绍了其High-NA EUV设备计划的最新进展，该设备将成为英特尔未来工艺节点的基石。英特尔的工艺路线图发生了一些变化--特别是英特尔18A因提前完成计划而被撤消--之后，英特尔制定了下一代EUV设备的计划。现在，英特尔将只在其 18A 节点上使用这些设备，作为新设备开发和验证工作的一部分；High-NA 设备将在英特尔后18A节点上投入生产使用。
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高数值孔径（High-NA）设备是下一代EUV光刻设备。这种大型扫描仪采用 0.55 数值孔径光学器件，比第一代生产型 EUV 机器使用的 0.33 NA 光学器件大得多，最终可以蚀刻出更高/更精细的线条。最终，High-NA机器将成为实现低于 2 纳米/20 埃的节点的关键部件。
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英特尔在 2021 年制定 "4 年 5 个节点 "的路线图时，宣布他们将成为 ASML High-NA 设备的主要客户，并将接收第一台量产设备。反过来，High-NA 也被认为将成为英特尔 18A 节点的重要组成部分。
但自 2021 年以来，英特尔的计划发生了变化，而且似乎是好的变化。18A 的进展一直领先于计划，因此在 2022 年，英特尔宣布将 18A 生产从 2025 年前推到 2024 年下半年。然而，鉴于 ASML 的 High-NA 机器的发布日期没有改变，英特尔的这一宣布留下了一些问题，即 High-NA 将如何融入他们的 18A 节点。现在，我们终于从英特尔那里得到了一些澄清。
High-NA 机器不再是英特尔 18A 生产计划的一部分。由于 18A 节点比量产级 High-NA 机器更早到来，英特尔将使用他们现有的工具生产 18A，例如 ASML 的 NXE 3000 系列 EUV 扫描仪。相反，18A 和 High-NA 之间的交叉点将是英特尔使用 18A 生产线来开发和验证 High-NA 扫描仪在未来生产中的使用。之后，英特尔将最终使用 High-NA 机器作为其下一代、后18A节点生产流程的一部分，目前该节点被简单地称为 "英特尔下一代"。
至于首台High-NA开发机，英特尔本周也证实，他们的开发计划仍在按部就班地进行。英特尔计划在今年年底收到第一台High-NA机器--正如 Pat Gelsinger 在主题演讲中所说，这是他送给英特尔执行副总裁兼技术开发总经理 Ann Kelleher 博士的圣诞礼物。
最后，回到英特尔 18A 工艺的话题上，英特尔表示，他们在第二代埃级节点上进展顺利。0.9 PDK（应该是最终的预生产 PDK）已接近完成，英特尔的团队应该能够加紧为该工艺设计芯片。英特尔打算在 2024 年第一季度开始 18A 硅晶圆厂的工作。根据英特尔迄今为止的路线图，这很有可能是英特尔首个 18A 客户端平台 Panther Lake 上的一款芯片的首次修订版。 4年5个节点，指其中4个都是台积电？[傻笑] 赫敏 发表于 2023-9-23 12:35
4年5个节点，指其中4个都是台积电？
arl是20a 不是台漏电 各种信息满天飞什么时候量产啊这种信息是给投资者的吧 啊？24年下半年量产18A？
INTEl5\3\20A跑哪里去了[震惊] 谎言之神Cyric 发表于 2023-9-24 13:57
啊？24年下半年量产18A？
INTEl5\3\20A跑哪里去了
延期挤到一块了 [偷笑]看来是EUV用的比较晚 所以准备High-NA追上来
不过一两台生产设备也不能改变所有吧 还是得在产品设计上面下功夫
像最近评价一般的A17 Pro 虽然用了新工艺 感觉也没啥提升。。。 第一台high NA EUV 是Intel接受了； 那TSMC 和 三星呢？ adun 发表于 2023-9-24 14:30
看来是EUV用的比较晚 所以准备High-NA追上来
不过一两台生产设备也不能改变所有吧 还是得在产品设计上面下 ...
A17智能说明目前FinFET要玩到头了，但GAA做好了还是可以在工艺这一侧大力出奇迹 搞得跟真的一样，到时候全部延期.... fairness 发表于 2023-9-24 17:31
第一台high NA EUV 是Intel接受了； 那TSMC 和 三星呢？
首批大部分都被他定了后面2家等等。。
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