华为和中芯国际为 5 纳米生产准备四重半导体图案化技术

银花三转

根据彭博社的最新调查，华为和中芯国际集成电路制造有限公司（SMIC）已经提交了自对准四重图形刻蚀（SAQP）技术专利，以使中芯国际实现 5 纳米半导体生产。这两家中国巨头一直在利用深紫外光（DUV）设备开发图案刻蚀技术，使中芯国际能够生产符合美国出口规则的节点，同时保持之前宣布的 7 纳米节点的工艺精度提升。

在 7 纳米工艺中，中芯国际最有可能使用自对准双图案技术（SADP）和 DUV 工具，但为了提高 5 纳米节点的密度，需要将 SAQP 提高一倍。在半导体制造过程中，**工具需要多次转动来蚀刻硅晶片上的设计。

特别是随着更小的节点对密度的要求越来越高，使用 DUV 工具蚀刻 10 纳米以下的设计变得越来越具有挑战性。这就是 ASML 的极紫外光 (EUV) 工具发挥作用的地方。使用 EUV，**打印机的波长比 DUV 小 14 倍，仅为 13.5 nm，而 ArF 浸透 DUV 系统的波长为 193 nm。

这就意味着，如果没有 EUV，中芯国际就必须寻找 SAQP 等替代方案来提高节点密度，结果会增加复杂性，并可能降低产量。例如，英特尔曾试图在其首批 10 纳米节点中使用 SAQP，以减少对 EUV 的依赖，结果造成了一系列延误和并发症，最终将英特尔本身也推向了 EUV。

虽然华为和中芯国际可能会为 SAQP 开发出更高效的解决方案，但由于普通 DUV 无法跟上半导体节点密度的不断提高，因此使用 EUV 已迫在眉睫。鉴于 ASML 无法将其 EUV 设备运到中国，据称华为正在开发自己的 EUV 设备，但可能还需要几年时间才能展示出来。



https://www.msn.cn/zh-cn/news/ot ... 37d4a25d&ei=19#

谎言之神Cyric

长春光源所去年在EUV上有突破，不知何时可以成功商用

昰昰暃暃

以前一直以为我们还差很远，这才一年已经追上这么多了。就连intel现在不还在用10nm呢么，看来再过几年就能追平了。

邪恶的光B

这不就快了么？

宁死不屈cosmo

先用着，坐等SSMB，激光等离子体EUV光源也没法很好应对BEUV阶段了，不如直接换道超车

张糊涂

记得去年华为发布Mate 60的时候，一堆文章天天曝光什么**工厂之类的……后来证明并不存在
还是一步一个脚印往前追更让人踏实，不需要那种冒进的bb

蓝屏帝

中芯国际现在用的也是ASML的设备吧，感觉像拉股票的

HydraCixe

昰昰暃暃 发表于 2024-3-25 18:24
以前一直以为我们还差很远，这才一年已经追上这么多了。就连intel现在不还在用10nm呢么，看来再过几年就能 ...

Intel都用上4nm（酷睿ultra)了啊，今年下半年都要上2nm了，你这消息有点落后啊。。。

银月

HydraCixe 发表于 2024-3-25 21:29
Intel都用上4nm（酷睿ultra)了啊，今年下半年都要上2nm了，你这消息有点落后啊。。。 ...

当时outel把7nm节点改名outel4我们就在喷骗外行

外行这不就来了

HydraCixe

银月 发表于 2024-3-25 22:31
当时outel把7nm节点改名outel4我们就在喷骗外行

外行这不就来了

说的好像台积电的3nm5nm是真实的物理尺寸一样，台积电三星就不在骗咯？到底谁外行啊

bigmanlei

HydraCixe 发表于 2024-3-25 22:46
说的好像台积电的3nm5nm是真实的物理尺寸一样，台积电三星就不在骗咯？到底谁外行啊 ...

是的，其实目前7nm 5nm 3nm 2nm在物理尺度上都是同一个东西，只是控制技术的不断进步而已，虽然确实会带来功率和性能的大幅度提升，但其实就是3年左右的差距罢了。
一些公众号却说得中国就要亡国了一样......

梦想家

bigmanlei 发表于 2024-3-25 23:38
是的，其实目前7nm 5nm 3nm 2nm在物理尺度上都是同一个东西，只是控制技术的不断进步而已，虽然确实会带 ...

现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧？赶英超美才是主流随处可见吧，很少有看到说技不如人的。
至于是不是真的技不如人，因我对这些行业只知道皮毛，也从来不看短视频吸取不到”知识“，无法参与讨论。
但我记得10多年前20年不到吧，大家一直在说我们在某某领域，或者是军事领域，或者是GDP，再花多久就要超过美国了，但当时就知道这说法有个漏洞：人又不会原地踏步等你，人也是一直在发展的。这个逻辑不知道现在有没有改变。

银月

梦想家 发表于 2024-3-26 00:28
现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧？赶英超美才是主流随处可见吧，很少有看到说技不如人的。
至于是不是 ...

现在上面更喜欢用显少的度量标准给人看，比如以米刀计gdp

cskeleton

HydraCixe 发表于 2024-3-25 22:46
说的好像台积电的3nm5nm是真实的物理尺寸一样，台积电三星就不在骗咯？到底谁外行啊 ...

在这一点上，就 Intel 还有点良心，他都叫 Intel 4，都没好意思叫 4nm

赫敏

梦想家 发表于 2024-3-25 11:28
现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧？赶英超美才是主流随处可见吧，很少有看到说技不如人的。
至于是不是 ...

没错，美国不会原地踏步，而是退着走。新型护卫舰由意大利设计制造，比意法落后半代。现在海军正在考虑把航母保养也外包给国外，老旧的巡洋舰想退役退不了

军工要靠十倍百倍的民用产业链养着，没有民用产业链根本发展不了

crossli

所以mate70系列上的“9010”能用上嘛？

sss668800

其实Intel最早计划4工艺也是SAQP+DUV，只不过现在EUV到位了，没这个必要了

C_Y___________

从追赶到替代再到超越慢慢来嘛，我还能活好多年。

DevilAnGeL

华为牛逼，华为加油

amike

看上去成本会很高啊

okko123

赫敏 发表于 2024-3-26 01:24
没错，美国不会原地踏步，而是退着走。新型护卫舰由意大利设计制造，比意法落后半代。现在海军正在考虑把 ...

鹰酱，剧本不是这样写。你不往前走，我兔子需要摸着你过河纳。

zy61806593

阶段性的新闻就不用看了，但华为目前社招开放最多的岗位确实就是芯片制造相关的，因为前同事就在那边。

glamor

前几天不是说asml都坐不住了，要润了。看来有谱

libfire2002

就不能 在国外成立一家公司， 然后找台积电代工3NM芯片，做成复读机，按成本价卖给中国二手垃圾商，再拆芯片卖给华为吗？

liruyuan1988

不是说1980i这台**机的工作台精度不够，做等效7nm已经是上限了么，再多重曝光一次良品率会断崖式下跌到个位数。

w7215346

HydraCixe 发表于 2024-3-25 21:29
Intel都用上4nm（酷睿ultra)了啊，今年下半年都要上2nm了，你这消息有点落后啊。。。 ...

18a都还是5nm

浪雪千羽

梦想家 发表于 2024-3-26 00:28
现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧？赶英超美才是主流随处可见吧，很少有看到说技不如人的。
至于是不是 ...

不要虚空打靶，没有人在说半导体赶英超美。

说的是半导体制程上差距缩小的速度比预期快。

你这样完全抛开实际， 只纯讨论屁股就没意思了。
上一次载人登月不是停下五十年等你？
军工老美报个假参数，我们信以为真憨憨实现了也不是孤例。

wxx_0000

赫敏 发表于 2024-3-26 01:24
没错，美国不会原地踏步，而是退着走。新型护卫舰由意大利设计制造，比意法落后半代。现在海军正在考虑把 ...

首先美**舰不会外包，无论制造还是保养，这是美国法律规定的，否则韩国早就给他美爹代工了；其次，美**工也不太需要民用产业链来养着，随便拿出一年来加息，未来十年的军服就出来了，因为全球花的都是美元。你感觉你和身边的人日子最近是不是挺紧巴的，这就是美国加息的原因。罗马帝国是会崩溃，但绝不是一朝一夕的，美国 在一百二十年前GDP就是世界第一了，但还得苟着，臣服英国，所有的机遇反转都发生在一战、二战，美国坐收渔翁之利。就是美国现在原地退步，中国以现在的人口基数在十年二十年里也很难追平美国，不要看什么GDP，平摊到14亿人头上就是个P了。中国能做到就还是低着头努力往前奔，但有两点不能做，一是不要随意打仗，二是别学发达国家那些女拳、LGBT之类的臭毛病。现在天天幻想美国崩溃、中国上位，别做美梦了