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[其他] 华为和中芯国际为 5 纳米生产准备四重半导体图案化技术

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发表于 2024-3-25 17:35 | 显示全部楼层 |阅读模式
根据彭博社的最新调查,华为和中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)已经提交了自对准四重图形刻蚀(SAQP)技术专利,以使中芯国际实现 5 纳米半导体生产。这两家中国巨头一直在利用深紫外光(DUV)设备开发图案刻蚀技术,使中芯国际能够生产符合美国出口规则的节点,同时保持之前宣布的 7 纳米节点的工艺精度提升。

在 7 纳米工艺中,中芯国际最有可能使用自对准双图案技术(SADP)和 DUV 工具,但为了提高 5 纳米节点的密度,需要将 SAQP 提高一倍。在半导体制造过程中,**工具需要多次转动来蚀刻硅晶片上的设计。

特别是随着更小的节点对密度的要求越来越高,使用 DUV 工具蚀刻 10 纳米以下的设计变得越来越具有挑战性。这就是 ASML 的极紫外光 (EUV) 工具发挥作用的地方。使用 EUV,**打印机的波长比 DUV 小 14 倍,仅为 13.5 nm,而 ArF 浸透 DUV 系统的波长为 193 nm。

这就意味着,如果没有 EUV,中芯国际就必须寻找 SAQP 等替代方案来提高节点密度,结果会增加复杂性,并可能降低产量。例如,英特尔曾试图在其首批 10 纳米节点中使用 SAQP,以减少对 EUV 的依赖,结果造成了一系列延误和并发症,最终将英特尔本身也推向了 EUV。

虽然华为和中芯国际可能会为 SAQP 开发出更高效的解决方案,但由于普通 DUV 无法跟上半导体节点密度的不断提高,因此使用 EUV 已迫在眉睫。鉴于 ASML 无法将其 EUV 设备运到中国,据称华为正在开发自己的 EUV 设备,但可能还需要几年时间才能展示出来。

BB1ktKQZ.jpg

https://www.msn.cn/zh-cn/news/ot ... 37d4a25d&ei=19#
发表于 2024-3-25 17:46 | 显示全部楼层
长春光源所去年在EUV上有突破,不知何时可以成功商用
发表于 2024-3-25 18:24 | 显示全部楼层
以前一直以为我们还差很远,这才一年已经追上这么多了。就连intel现在不还在用10nm呢么,看来再过几年就能追平了。
发表于 2024-3-25 18:55 | 显示全部楼层
这不就快了么?
发表于 2024-3-25 19:20 | 显示全部楼层
先用着,坐等SSMB,激光等离子体EUV光源也没法很好应对BEUV阶段了,不如直接换道超车
发表于 2024-3-25 19:55 | 显示全部楼层
记得去年华为发布Mate 60的时候,一堆文章天天曝光什么**工厂之类的……后来证明并不存在
还是一步一个脚印往前追更让人踏实,不需要那种冒进的bb
发表于 2024-3-25 20:58 | 显示全部楼层
谎言之神Cyric 发表于 2024-3-25 17:46
长春光源所去年在EUV上有突破,不知何时可以成功商用

需突破中的N个中的1个而已
发表于 2024-3-25 21:01 | 显示全部楼层
本帖最后由 蓝屏帝 于 2024-3-25 21:02 编辑

中芯国际现在用的也是ASML的设备吧,感觉像拉股票的
发表于 2024-3-25 21:29 | 显示全部楼层
昰昰暃暃 发表于 2024-3-25 18:24
以前一直以为我们还差很远,这才一年已经追上这么多了。就连intel现在不还在用10nm呢么,看来再过几年就能 ...

Intel都用上4nm(酷睿ultra)了啊,今年下半年都要上2nm了,你这消息有点落后啊。。。
发表于 2024-3-25 22:31 | 显示全部楼层
HydraCixe 发表于 2024-3-25 21:29
Intel都用上4nm(酷睿ultra)了啊,今年下半年都要上2nm了,你这消息有点落后啊。。。 ...

当时outel把7nm节点改名outel4我们就在喷骗外行

外行这不就来了
发表于 2024-3-25 22:46 | 显示全部楼层
银月 发表于 2024-3-25 22:31
当时outel把7nm节点改名outel4我们就在喷骗外行

外行这不就来了

说的好像台积电的3nm5nm是真实的物理尺寸一样,台积电三星就不在骗咯?到底谁外行啊
发表于 2024-3-25 23:38 | 显示全部楼层
HydraCixe 发表于 2024-3-25 22:46
说的好像台积电的3nm5nm是真实的物理尺寸一样,台积电三星就不在骗咯?到底谁外行啊 ...

是的,其实目前7nm 5nm 3nm 2nm在物理尺度上都是同一个东西,只是控制技术的不断进步而已,虽然确实会带来功率和性能的大幅度提升,但其实就是3年左右的差距罢了。
一些公众号却说得中国就要亡国了一样......
发表于 2024-3-26 00:28 | 显示全部楼层
bigmanlei 发表于 2024-3-25 23:38
是的,其实目前7nm 5nm 3nm 2nm在物理尺度上都是同一个东西,只是控制技术的不断进步而已,虽然确实会带 ...

现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧?赶英超美才是主流随处可见吧,很少有看到说技不如人的。
至于是不是真的技不如人,因我对这些行业只知道皮毛,也从来不看短视频吸取不到”知识“,无法参与讨论。
但我记得10多年前20年不到吧,大家一直在说我们在某某领域,或者是军事领域,或者是GDP,再花多久就要超过美国了,但当时就知道这说法有个漏洞:人又不会原地踏步等你,人也是一直在发展的。这个逻辑不知道现在有没有改变。
发表于 2024-3-26 00:58 | 显示全部楼层
梦想家 发表于 2024-3-26 00:28
现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧?赶英超美才是主流随处可见吧,很少有看到说技不如人的。
至于是不是 ...

现在上面更喜欢用显少的度量标准给人看,比如以米刀计gdp
发表于 2024-3-26 01:21 | 显示全部楼层
HydraCixe 发表于 2024-3-25 22:46
说的好像台积电的3nm5nm是真实的物理尺寸一样,台积电三星就不在骗咯?到底谁外行啊 ...

在这一点上,就 Intel 还有点良心,他都叫 Intel 4,都没好意思叫 4nm
发表于 2024-3-26 01:24 来自手机 | 显示全部楼层
梦想家 发表于 2024-3-25 11:28
现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧?赶英超美才是主流随处可见吧,很少有看到说技不如人的。
至于是不是 ...

没错,美国不会原地踏步,而是退着走。新型护卫舰由意大利设计制造,比意法落后半代。现在海军正在考虑把航母保养也外包给国外,老旧的巡洋舰想退役退不了

军工要靠十倍百倍的民用产业链养着,没有民用产业链根本发展不了
发表于 2024-3-26 06:30 | 显示全部楼层
所以mate70系列上的“9010”能用上嘛?
发表于 2024-3-26 08:11 | 显示全部楼层
其实Intel最早计划4工艺也是SAQP+DUV,只不过现在EUV到位了,没这个必要了
发表于 2024-3-26 08:40 | 显示全部楼层
从追赶到替代再到超越慢慢来嘛,我还能活好多年。
发表于 2024-3-26 08:42 | 显示全部楼层
华为牛逼,华为加油
发表于 2024-3-26 09:04 | 显示全部楼层
看上去成本会很高啊
发表于 2024-3-26 09:14 | 显示全部楼层
赫敏 发表于 2024-3-26 01:24
没错,美国不会原地踏步,而是退着走。新型护卫舰由意大利设计制造,比意法落后半代。现在海军正在考虑把 ...

鹰酱,剧本不是这样写。你不往前走,我兔子需要摸着你过河纳。
发表于 2024-3-26 09:17 | 显示全部楼层
阶段性的新闻就不用看了,但华为目前社招开放最多的岗位确实就是芯片制造相关的,因为前同事就在那边。
发表于 2024-3-26 09:41 | 显示全部楼层
前几天不是说asml都坐不住了,要润了。看来有谱
发表于 2024-3-26 09:44 | 显示全部楼层
就不能 在国外成立一家公司, 然后找台积电代工3NM芯片,做成复读机,按成本价卖给中国二手垃圾商,再拆芯片卖给华为吗?
发表于 2024-3-26 09:48 | 显示全部楼层
不是说1980i这台**机的工作台精度不够,做等效7nm已经是上限了么,再多重曝光一次良品率会断崖式下跌到个位数。
发表于 2024-3-26 10:21 | 显示全部楼层
HydraCixe 发表于 2024-3-25 21:29
Intel都用上4nm(酷睿ultra)了啊,今年下半年都要上2nm了,你这消息有点落后啊。。。 ...

18a都还是5nm
发表于 2024-3-26 10:34 | 显示全部楼层
梦想家 发表于 2024-3-26 00:28
现在的公众号应该都是吃爱国饭的吧?赶英超美才是主流随处可见吧,很少有看到说技不如人的。
至于是不是 ...

不要虚空打靶,没有人在说半导体赶英超美。

说的是半导体制程上差距缩小的速度比预期快。

你这样完全抛开实际, 只纯讨论屁股就没意思了。
上一次载人登月不是停下五十年等你?
军工老美报个假参数,我们信以为真憨憨实现了也不是孤例。
发表于 2024-3-26 11:03 | 显示全部楼层
赫敏 发表于 2024-3-26 01:24
没错,美国不会原地踏步,而是退着走。新型护卫舰由意大利设计制造,比意法落后半代。现在海军正在考虑把 ...

首先美**舰不会外包,无论制造还是保养,这是美国法律规定的,否则韩国早就给他美爹代工了;其次,美**工也不太需要民用产业链来养着,随便拿出一年来加息,未来十年的军服就出来了,因为全球花的都是美元。你感觉你和身边的人日子最近是不是挺紧巴的,这就是美国加息的原因。罗马帝国是会崩溃,但绝不是一朝一夕的,美国 在一百二十年前GDP就是世界第一了,但还得苟着,臣服英国,所有的机遇反转都发生在一战、二战,美国坐收渔翁之利。就是美国现在原地退步,中国以现在的人口基数在十年二十年里也很难追平美国,不要看什么GDP,平摊到14亿人头上就是个P了。中国能做到就还是低着头努力往前奔,但有两点不能做,一是不要随意打仗,二是别学发达国家那些女拳、LGBT之类的臭毛病。现在天天幻想美国崩溃、中国上位,别做美梦了

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发表于 2024-3-26 11:04 | 显示全部楼层
wxx_0000 发表于 2024-3-26 11:03
首先美**舰不会外包,无论制造还是保养,这是美国法律规定的,否则韩国早就给他美爹代工了;其次,美**工 ...


虽然不一定都准确,但是说得蛮好。
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